配置隔離式(雙扉)凈化洗衣機(jī)、高效過濾器凈化烘干機(jī)、18 MΩEDI超純水系統(tǒng)及ESD和塵粒測試檢測儀器。使用二級(jí)RO水及非離子型表面活性洗滌劑對(duì)無塵工作服進(jìn)行清洗，清洗后的無塵服的折疊、包裝、檢測和暫存均在超潔凈環(huán)境中完成。

依照不同的使用環(huán)境，對(duì)無塵服清洗的周期性有不同要求。通常千級(jí)凈化間無塵服至少每周洗滌一次。其洗滌過程與普能清洗也有所不同：(1)新制作的無塵服可直接進(jìn)行洗滌，而回收穿過的無塵服發(fā)現(xiàn)油污，應(yīng)仔細(xì)去除油污再進(jìn)行洗滌程序。 (2)洗滌前要對(duì)擦破、損壞及搭扣等附屬品進(jìn)行檢查，對(duì)有缺陷的要修理、更換或報(bào)廢。(3)必須在比使用無塵服的潔凈室的潔凈度高的潔凈室中進(jìn)行清洗、烘干、包裝。(4)清洗用的水要使用18兆歐水，并選用中性洗滌劑進(jìn)行清洗。(5)在裝有潔凈空氣循環(huán)系統(tǒng)的烘干機(jī)中進(jìn)行干燥并消毒。干燥消毒后，雙層包裝，進(jìn)行真空塑封。